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空间光调制器 波前测试仪DOEDMD
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产品简介
法国PHASICS 的波前探测器,基于其波前测量专利——四波横向剪切干涉技术(4-Wave Lateral Shearing Interferometry)。作为夏克-哈特曼技术的改进型,这种独特的专利技术将超高分辨率和超大动态范围完美结合在一起。任何应用下,其都能实现全面、简便、快速的测量。
产品参数
Product Parameter
型号 |
SID4-UV | SID4 | SID4 V
> 10-6 mbar |
SID4-HR | SID4-NIR | SID4-SWIR | SID4-SWIR-HR | SID4-eSWIR | SID4-LWIR | SID4-DWIR | SID4 sC8
sCMOS |
孔径 |
7.4 × 7.4 mm² | 5.02 × 3.75 mm² | 4.73 × 3.55 mm2 | 9.98 × 8.64 mm² | 3.6 × 4.8 mm² | 9.6 × 7.68 mm² | 9.6 × 7.68 mm² | 9.6 × 7.68 mm² | 16 × 12 mm² | 10.88 × 8.16 mm² | 16.6 x 14.0 mm2 |
空间分辨率 |
29.6 µm | 27.6 µm | 29.6 µm | 24 µm | 29.6 µm | 120 µm | 60 µm | 60 µm | 100 µm | 68 µm |
19.5 µm |
采样点/测量点 |
250 × 250 | 182 × 136 | 160 × 120 | 416 × 360 | 160 × 120 | 80 × 64 | 160 × 128 | 80 × 64 | 160× 120 |
160 × 120 |
852 × 720 |
波长 |
250 ~ 400 nm | 400 nm ~ 1100 nm | 400 nm ~ 1100 nm | 400 nm ~ 1100 nm | 1.5 ~ 1.6 µm | 0.9 ~ 1.7 µm | 0.9 ~ 1.7 µm | 1.0-2.35 µm | 8 ~ 14 µm |
3 ~ 5 µm , 8 ~ 14 µm |
450 nm ~ 1000 nm |
动态范围 |
> 200 µm | > 100 µm | > 100 µm | > 500 µm | > 100 µm | ~ 100 µm | ~ 100 µm | ~ 120 µm | ~ 100 µm |
N/A |
N/A |
精度 |
10 nm RMS | 10 nm RMS | 15 nm RMS | 20 nm RMS | 15 nm RMS | 15 nm RMS | 15 nm RMS | 40 nm RMS | 75 nm RMS |
75 nm RMS |
N/A |
灵敏度 |
2 nm RMS
@ 250 nm, 2 µJ/cm² |
< 2 nm RMS | < 2 nm RMS | < 2 nm RMS | < 11 nm RMS | 2 nm RMS | 2 nm RMS | 6 nm RMS | 25 nm RMS |
25 nm RMS |
< 1 nm RMS |
采样频率 |
>30 fps | > 60 fps | 60 fps | > 10 fps | >60 fps | 120 fps | 120 fps | N/A | 24 fps | 50 fps |
40 fps |
处理频率 |
> 2 Hz (高分辨率) | 10 Hz (高分辨率) | 7 Hz (高分辨率) | 3 Hz (高分辨率) | 10 Hz | 7 Hz (高分辨率) | 7 Hz (高分辨率) | >10 Hz (高分辨率) | 10 Hz (高分辨率) |
10 Hz |
15 Hz |
尺寸 |
53 × 63 × 83 mm | 62 × 64 × 94 mm | 54 × 46 × 75.3 mm | 80 × 77.5 × 86.4 mm | 44 × 33 × 57.5 mm | 100 × 55 × 63 mm | 100 × 55 × 63 mm | 90 × 115 × 120 mm | 96 × 110 × 90 mm |
85 × 118 × 193 mm |
140 × 82 × 80 mm |
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