四点探针电阻仪简介

CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的

服务众多知名半导体工业用户!

CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)
  CDE 提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速,精确与软件控制下针、软件功能优化下针压力,即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作,双针头切换。太阳能使用可支持自动Loader,300mm 机台可使用Front End,最多扩充3个量测单元,支持Semi标准接口。


光伏测试专用美国ResMap四点探针
CDE ResMap的特点如简述如下: * 自动决定范围量测与
传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良
好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳
(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精
确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配
合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且
可以Recipe设定更换
CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控.

 

主要特点: 测量范围广,精度高,稳定性好,功能多,软件好用,维修成本低,服务好。
美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪(Four point probe(4PP))
设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)
主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap
规格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜,半导体材料)
设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量,半导体,光伏
特点:
1)针尖压力一致
2)适用于各种基底材料
3)友好的用户界面
4)快速测量
5)数据可存储
 
应用:
1)方块电阻

2)薄片电阻

3)掺杂浓度

4)金属层厚度

5)P/N类型

6)I/V测试

半导体行业专用CDE resmap 四点探针


半导体行业专用CDE resmap 四点探针

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