CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)4探针测试系统（电阻率，面电阻）

CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的

CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)
  CDE 提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速，精确与软件控制下针、软件功能可较佳化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换。太阳能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，可扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。

光伏测试专用美国ResMap四点探针
CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定自动决定范围量测与传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配
合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且可以Recipe设定更换CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。

主要特点： 测量范围广,精度高,稳定性好,功能强大,软件好用,维修成本低,服务好。
美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪（Four point probe(4PP)）
设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)
主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap
规格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜，半导体材料)
设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量，半导体，光伏
特点：
1）针尖压力一致
2）适用于各种基底材料
3）友好的用户界面
4）快速测量
5）数据可存储
 
应用：
1）方块电阻

2）薄片电阻

3）掺杂浓度

4）金属层厚度

5）P/N类型

6）I/V测试