CDE ResMap 四点探针 ResMap 273

CDE ResMap 四点探针 ResMap 273

  • Category: 光伏类产品» 四点探针电阻仪
  • Brand:美国/CDE
  • Application:
  • Keyword: 四点探针 ResMap 273
Product Introduction

CDE ResMap 四点探针 ResMap 273

         CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的


CDE ResMap Model 273

Resmap 273 

178型的技术基础上,ResMap273是半导体行业首款30毫米桌面四点探针仪。273型扩展了ResMap原来一些产品的性能,实现了300毫米的技术进步和大型衬底膜特征。外形小巧,坚固耐用,ResMap创造了同等的准确性和可重复性。

晶片传送

手动加载


电脑系统

奔腾系列;windows XP家用(不带显示)

晶片尺寸

2” - 12”

SECS-II 选项

最大直径

12.2”

映照模式

极投影地图

(对准缺口/平形,跨越,或者持平);矩形图(选择内侧边缘排除);线扫描(直径,半径或沿直径任意点,最小步进0.1毫米点),用户自定义(模板)

最大面积

8.6” x 8.6”

典型测量时间

site1

平面图

等高线(间距选择,1/3σ,固定和自动%),3D,线,数据图,直方图,数据序列,径向和角分布,趋势图的不同模式可供选择

最大输出

每个晶片1分(29sites

测量范围

2 mΩ/� - 5 MΩ/

(可以优化为1 mΩ/�)

重复率

(1σ, 典型):

≤ ±0.02% (静态或Rs

≤ ±0.02%(动态附近点)

数据

所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。

准确度

≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准

 

最低周边除外范围

1.5毫米(探针中心到膜边缘距离)

 


设备

中央吸尘系统

不要求真空

交流功率

100V to 240V < 10 KVA

尺寸(英尺)

**

15” w x 18”d x 10”h;

桌面(不包括桌面)

 2. 验收测试方法

· 精确度

精确度测量方法:用标准片标定后,连续测试标准片5次,取平均值与标准值对比。

 

· 重复精度:

用标准片标定后,连续测试样品同一点5次,按如下公式计算:(Max-Min) /Max+Min)(%)。

 

· 稳定度:

用标准片标定后,对同一样品的同一个点,依次在 1秒,30秒,1分钟,5分钟,15分钟,30分钟,45分钟,1小时测量,按如下公式计算:(Max-Min) /Max+Min)(%)。

 


 

光伏测试专用美国ResMap四点探针


CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且
可以Recipe设定更换

CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。



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