高分辨率3D打印系统

适用范围

主要特征 1.具有 100 nm 特征尺寸控制的高速高分辨率 3D 微纳加工 2.广泛的基板和晶圆，最大可达 8 英寸 3.工业批量处理：200 种典型的中尺度结构可在一夜之间打印 4.通过花岗岩基层和减振实现高机械和热稳定性 5.个性化定制系统，适用于广泛应用，是多用户设施的理想选择

产品特点

Product Features

技术特点概要

· 快速原型制作，高精度，高设计自由度，简易明了的工程流程

· 工业验证的晶圆级批量生产

· 200 个典型中尺度结构的过夜打印量

· 使用全新XLF打印套件，一次实现打印30立方厘米部件

· 广泛的特定应用和通用打印材料

· 模块化、可定制的系统

全国服务热线 021-3463-5258

产品参数

Product Parameter

标准参数

系统基本特征

打印技术	基于双光子聚合的逐层3D打印具有体素调节能力的双光子灰度光刻
基片	显微镜载片(3” x 1” / 76 x 26 mm2) 硅片，1” (25.4 mm) 到 8” (200 mm) 玻璃、硅及其他不透明材料
光刻胶	Nanoscribe IP胶（聚合物打印） Nanoscribe GP-Silica胶（玻璃打印）兼容第三方及各类自主材料
最大打印面积	50 x 50 mm²

提供的数据可能因光刻胶及几何形状而有不同
1 各空间方向上100nm的特征尺寸可控
2 e.g. 10倍物镜放大倍率：625nm/s

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