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产品参数
Product Parameter
反射式DHM主要参数:
系统 |
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DHM型号 |
R1000 |
R2100 |
R2200 |
光源数量 |
1 |
2 |
3 |
操作波长(±0.1nm) |
666nm |
794nm |
666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波长稳定性 |
0.01 nm / °C at 666 |
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样品台 |
手动或自动XYZ平台,行程300 mm x 300 mm x 38 mm |
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物镜 |
放大倍数1.25x到100 x,标准,高数值孔径,长工作距离,水/油浸物镜 |
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物镜转轮 |
六孔转盘 |
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计算机 |
DELL工作站,最新多核Intel处理器,高性能图像卡,配置最小21英寸显示屏及鼠标, |
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软件 |
基于C++和.NET的Koala软件,额外可选软件模块可用于先进分析 |
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数据兼容性 |
测量数据记录在二进制表格,可导出.txt格式,记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组 |
技术参数:
性能参数 |
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测量模式 |
666nm单波长 |
合成短波长4.2um |
合成长波长24um |
DHM型号 |
R1000,R2100,R2200 |
R2100,R2200 |
R2200 |
精度[nm] |
0.15 |
0.15 / 3.0 * |
20 |
垂直分辨率[nm] |
0.30 |
0.30 / 6.0 * |
40 |
重复性[nm] |
0.01 |
0.01 / 0.1 * |
0.5 |
垂直测量范围 |
up to 200 μm |
up to 200 μm |
up to 200 μm |
锐利边缘最大台阶高度 |
up to 333 nm |
up to 2.1 μm |
up to 12 μm |
表面类型 |
光滑表面 |
复杂,非连续表面 |
复杂非连续表面 |
垂直校准 |
取决于干涉滤光片,±0.1 nm |
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响应时间 |
标准500us,10us(可选) |
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响应速度 |
标准30帧(1024*1024像素),可选达1000帧 |
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重建速率 |
高达25帧1024*1024像素全息图(依赖于数据分析)(可选60帧) |
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水平分辨率 |
取决于物镜,低至300nm |
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视野 |
取决于物镜,从66um x66um到5um x5um范围 |
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工作距离 |
取决于物镜,从0.3到18 mm |
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数字对焦 |
取决于物镜,高达50 x景深 |
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最小样品反射率 |
低于1% |
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样品照明 |
低至1 μW/cm2 |
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频闪装置 |
兼容单一,合成短波长 |
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