荷兰ISTEQ等离子体EUV光源 TEUS系列 极紫外光源

产品简介

激光等离子体（LPP - LASER PRODUCED PLASMA）技术

13.5纳米EUV极紫外光源产品——TEUS系列，高亮度、高稳定性、高运行时间

ISTEQ自从行业确立EUV发展路线以来，便专注于该领域的技术研发，自主开发了基于激光等离子体（LPP - LASER PRODUCED PLASMA）技术的EUV光源，具备超高的亮度与稳定性。该光源采用可刷新燃料设计，运行过程中无需更换燃料盒，无中断补给，显著提升了设备的持续运行时间，为行业带来极高的生产效率。

针对不同应用的光谱需求，ISTEQ定制开发了专用燃料。特别是在掩模检测领域，推出了高频旋转锡靶技术，并已获得全球专利认证。

依托丰富的行业经验与深厚的技术积累，在EUV光源制造方面具备明显优势。ISTEQ的XWS系列光源，专为多种高端应用场景量身打造，包括光谱分析、高分辨率显微成像、薄膜测量与表面计量等。这一系列产品采用全球领先技术，并已获得国际专利保护。

产品介绍：

ISTEQ专注于激光等离子体（LPP - LASER PRODUCED PLASMA）EUV极紫外光源技术，推出TEUS系列13.5纳米光源，具备超高亮度、极高稳定性及可刷新燃料设计，显著提升设备稼动率。独创的高频旋转锡靶技术获全球专利，广泛应用于光谱分析、高分辨率显微成像与表面计量等领域。