Difrotec点衍射激光干涉仪 D7-λ/1000

产品简介

Difrotec是超高精度光学表面贴图的全球领导者。我们在光学系统和光学图像处理的数学建模，开发用于DUV和EUV光刻的高精度光学系统的组装，调整和测试的计算机模型的开发方面拥有30多年的经验，在点衍射波阵面研究方面已有8年以上的经验测试各种参数的光学元件。

我们开发设计和制造了全球市场上第一台商用点衍射干涉仪。它是一种紧凑自动相移干涉仪D7，用于测量光学表面图形和光学系统的透射波前质量。

D7作为通用仪器，具有多种计量工具的优点：绘制表面图形，揭示光学器件制造和组装技术的特征和缺陷以及测试光学系统的图像质量。所有这些功能均提供了世界上最高的绝对精度-埃。

产品中心

产品特点

Product Features

迪弗罗泰克（Difrotec）在光学测试领域开发出了一项突破性技术。

典型的测量系统包括（从右至左）：
D7 设备、激光器、光学附件 DA、用于固定待测光学元件的六维位移台。

D7 是一款相移点衍射共光路干涉仪，可用于对表面形状和透射波前质量进行超高精度测量。

D7 可检测表面或波前的绝对面形。请观看视频。

绝对面形是指所测量的形状是相对于绝对参考面得出的，即由亚波长孔径的光衍射产生的完美球面波前。

查看我们的最新产品信息：
《迪弗罗泰克产品与服务》（Difrotec_products&services.pdf）

干涉仪 D7 的规格：

性能：
峰谷绝对精度：±0.6 纳米（λ/1000）
峰谷分辨率：0.05 纳米（λ/12000）
波前均方根（RMS）重复性：<0.23 纳米（λ/2800）
简易均方根（RMS）重复性：<0.06 纳米（λ/10500）
激光器类型及波长：稳频氦氖激光器，632.8 纳米
数值孔径 NA：0.55（f# 0.91）
数据采集：相移干涉测量法（PSI）

测量方案

凹球面：
凸球面：
平面：
光学系统（波前质量测试）：

光学测试与测量
光学测试和测量服务包括测试凹面、凸面、角隅棱镜、平面、非球面、自由曲面的表面形状，以及光学系统的透射波前，同时还包括曲率半径的测量。（测试您的光学元件）

光学设计与制造
凭借在高精度光学系统计算机建模方面 30 多年的经验，我们已建立起自己的合作关系，用于设计和制造高质量的光学元件。我们在光学制造领域的长期合作伙伴是韩国理工大学（KPU – Korea Polytechnic University）。

理想参考：无使用物理参考引入的传播错误

节省时间，无需更改大量物理参考
节省成本，无需购买昂贵的参考套件

透射球面检测精度比Fizeau干涉仪的检测精度高100倍

节省时间和成本，不需要中间仪器或其他方法来提高准确性

D7比其他干涉仪检查更多的表面特征

在安装和启动光学系统之前能更好地揭示制造缺陷误差，从而节省了成本

高稳定性

节省时间，出色的重复性提供了高准确性的结果
节省成本，检测不需要特殊的环境条件

应用范围广

结构紧凑简单，不论下实验室或工厂使用都可以

无回程误差

在测量非球面和自由曲面时，简化了设置，节省了时间和成本

测量方案

全国服务热线 021-3463-5258

产品参数

Product Parameter

峰谷绝对精度	± 0.6 nm （λ / 1000）
峰谷分辨率	0.05 nm（λ/ 12000）
波前RMS重复性	< 0.23 nm（λ / 2800）
单点RMS重复性	< 0.06 nm（λ / 10500）
激光类型和波长	He-Ne ，632.8 nm
数值孔径NA	0.55（f＃0.91）
数据采集	相移干涉技术（PSI）
图像缩放系统	通过软件界面控制4倍光学变焦
采集时间	10ms
曝光时间	最小40μs
光学聚焦范围	±2m