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产品简介
Difrotec是超高精度光学表面贴图的全球领导者。我们在光学系统和光学图像处理的数学建模,开发用于DUV和EUV光刻的高精度光学系统的组装,调整和测试的计算机模型的开发方面拥有30多年的经验,在点衍射波阵面研究方面已有8年以上的经验测试各种参数的光学元件。
我们开发设计和制造了全球市场上第一台商用点衍射干涉仪。它是一种紧凑自动相移干涉仪D7,用于测量光学表面图形和光学系统的透射波前质量。
D7作为通用仪器,具有多种计量工具的优点:绘制表面图形,揭示光学器件制造和组装技术的特征和缺陷以及测试光学系统的图像质量。所有这些功能均提供了世界上最高的绝对精度-埃。
产品特点
Product Features
理想参考:无使用物理参考引入的传播错误
透射球面检测精度比Fizeau干涉仪的检测精度高100倍
D7比其他干涉仪检查更多的表面特征
高稳定性
应用范围广
无回程误差
产品参数
Product Parameter
峰谷绝对精度 | ± 0.6 nm (λ / 1000) |
峰谷分辨率 | 0.05 nm(λ/ 12000) |
波前RMS重复性 | < 0.23 nm(λ / 2800) |
单点RMS重复性 | < 0.06 nm(λ / 10500) |
激光类型和波长 | He-Ne ,632.8 nm |
数值孔径NA | 0.55(f#0.91) |
数据采集 | 相移干涉技术(PSI) |
图像缩放系统 | 通过软件界面控制4倍光学变焦 |
采集时间 | 10ms |
曝光时间 | 最小40μs |
光学聚焦范围 | ±2m |
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