LDLSTM高亮度宽带光源
Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命等特点。谱线覆盖从深紫外（DUV）、可见光和近红外光区（NIR），波长范围从 170nm到2100nm 以上，寿命长达10,000小时以上。无电极的 LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，并且延长了灯的使用寿命。
技术原理：
特点&优势：
Ø 高光谱宽度：170-2100 nm全波段覆盖
Ø 高亮度：>10mW/mm2/nm/Sr，30W氘灯的100倍以上
Ø 极小发光点：约100μm
Ø 极好的功率和空间稳定性
Ø 长寿命：> 9000 hrs（10%衰减）
典型应用：
Ø 替代氙灯、氘灯和卤钨灯等
Ø UV-Vis-NIR光谱
Ø 单色光源
Ø 膜厚、形貌测量
Ø 光纤/光学材料和器件测试
Ø 环境、化学、材料分析
Ø 缺陷检测
Ø 高级显微成像/照明
1、基础系列
产品型号 | EQ-99X
| EQ-99XFC
| EQ-1500
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主要特征 | 光谱范围170nm-2100nm（光纤190-2100nm），连续输出，高功率稳定性<0.1%，灯泡寿命长达9000hrs以上 | ||
输出功率 | 0.5W | ~80mW(from 230μmfiber，0.22NA) | 1.5W |
亮度 | ~10mW/mm2/nm/Sr | ~60 μW/mm2/nm/Sr（230μm fiber，0.22NA） | ~30 mW/mm2/nm/Sr |
光学接口 | 0.47 NA | 0.22 NA，FC/SMA接头 | 0.50 NA |
冷却系统 | 空冷 | 空冷 | 水冷 |
应用 | UV-Vis-IR光谱 光学测量 材料、器件测量和表征 单色光源 分析仪器 高级系统照明 | UV-Vis-IR光谱 光纤光学 材料、器件测量和表征 单色光源 薄膜测量 | 单色光源 PEEM/LEEM UV-VIS-IR光谱分析 材料、器件测试和表征 |
2、OEM系列
OEM系列光源是Energetiq在原有的LDLS™技术基础上进行了改进，将驱动激光器和发光点集成到同一个灯室里，使得光源更加紧凑，更加稳定。同时，OEM系列光源具有双向输出窗口设计，用户可以根据需要选择单向输出和双向输出。
产品型号 | EQ-9
| EQ-77
| EQ-400
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主要特征 | 光谱范围170nm-2100nm，连续输出，灯泡寿命长达9000hrs以上，高功率稳定性<0.1%，单/双光学出口 | ||
输出功率 | 0.5 W | 2.2 W | 15 W |
亮度 | ~10mW/mm2/nm/Sr | >50mW/mm2.sr.nm | >100mW/mm2.sr.nm |
光学接口 | 0.47 NA | 0.5 NA | 0.50 NA |
冷却系统 | 空冷 | 水冷 | 水冷 |
应用 | UV-Vis-IR光谱 光学测量 材料、器件测量和表征 单色光源 分析仪器 高级系统照明 | UV-Vis-IR光谱 PEEM/LEEM 材料、器件测量和表征 单色光源 薄膜测量 | 半导体检测 缺陷检测 材料、器件测试和表征 高级光学照明 薄膜测量 |
